已分解的SF6包含多种成分，仪器对某些成分不灵敏，但对由于灭弧、闪络或局放引起的SF6分解物灵敏。仪器释放的SF6分解物有毒，特别是故障定位，即使透气阀装有一个新的过滤芯。使用足够长的气管输送废气远离工作人员。同时操作仪器时应戴酸气体过滤器的全罩或半罩呼吸器。